弊社が作っている超高圧UVランプは、主に半導体や液晶、プリント基板などのリソグラフィ(回路パターン焼付け)用光源として、各種の露光装置に搭載されています。用途として半導体回路形成用光源、液晶パターン形成用光源、カラーフィルターパターン形成用光源、プリント基板回路形成用光源、MEMSパターン形成用光源、蛍光顕微鏡用光源、紫外線硬化用光源、その他新規露光用途など数多くに使われています。製品の型式について営業担当者までお問い合わせてください。 i线步进式光刻机NSR-SF140,用于半导体器件制造。使用ORC高压汞灯,功率7.5KW,型号:NLi-7500AL2D。牛尾电机紫外线灯
i线步进式光刻机NSR-SF155适用于半导体器件的制造。性能:Resolution分辨率≦280nm,NA0.62,Exposure light source曝光光源i-line(365nmwavelength),Reductionratio缩小倍率1:4Maximumexposurefield,曝光范围26mm×33mm,Overlay重合精度≦25nm,Throughput产出≧200wafers/hour(300mmwafer,76shots),也可用于200mmwafer。采用悬吊投影镜头、减轻震动的“天钩构造”。通过高速运转的晶圆工作台,实现了每小时200片以上300mm晶圆的高产出。●超高产出采用了适于步进式光刻机的新平台“天钩构造”,同时晶圆工作台可高速运转,从而大幅度降低了振动,并实现了高产出。达到了每小时200片以上300mm晶圆的超高产出。高重合精度采用了“天钩构造”与配重物。并重新配置了空调管路,有利于工作室内的散热。实现了25nm以下的重合精度。使用ORC制作所生产的7.5KW超高压汞灯,对应型号:NLi-7500AL2。曝光设备紫外线灯13KW电源i线步进式光刻机NSR-2205i12,用于半导体器件制造。使用ORC制作所高压汞灯,功率2KW,型号:NLi-2011AL。
ORC 直流电源,型号:BDE-123ND,功率:12KW;适用于FX-51S,FX-61S,FX-63 TFT黄光曝光设备。
外形尺寸300(宽)×715(高)×600mm(深)
1.入力电源电压:200/208/220VAC±10%(自动切替)相数:3相3线周波数:50/60Hz(自动切替)稳定电流:50A以下突入电流:100A以下端子台番号:TB1端子台番号(CHAMBER侧):TB649端子台螺丝:M6
2.LAMP输出控制方式:可以定电力控制方式和定照度控制方式切换稳定输出:1200W(定电力时)电压:LAMP点灯初期4分钟限制80±5A以下LAMP点灯4分钟过后,依存LAMP电压,最大电流限制在120A±5A以下端子台番号:TB2端子台螺丝:M8
实验室用小型UV紫外线照射设备
设备型号:QRU-2161-D
用途:光阻材料固化,粘着剂固化,封装胶固化,油墨胶固化,框胶材料固化。
照射装置构成:由灯箱和电源构成。
光源:汞灯 。
功率:300W,500W,800W.
特长:操作简单,小型化,轻量化,可手持,节能。
製品仕様:使用UV汞灯作为光源,光源主要波长为365nm,照度为30mW/cm2.
反射镜:黄金反射镜
冷却:风冷
照射面积:120×130mm
灯箱尺寸:180(W) × 250(D) × 212(H) mm
电源尺寸:300(W) × 370(D) × 395(H) mm 让紫外线深入半导体,开启全新可能。
ORC制造UV-LED照射装置
3种波长(365nm,385nm,405nm)可以单独照射,多波段混合LED照射装置。
製品仕様
灯具型式:LUV-L330-Mix2
照射範囲:W330.0(mm)D15.0(mm)
波長:365・385・405(nm)照射距離(WD)25(mm)
消費電力:(Max)1900(W)
Size:H125.7(mm)W482.0(mm)D230.0(mm)
重量:7.5(kg)
電源型式:LUV-L330-Mix2
調光方式:デジタル調光・定電流制御方式
出力容量:2600(W)
定格電源電圧:AC100~240(V)50/60Hz
アラーム機能:LED断線・温度上昇重量22.0(kg) 我们的紫外线灯可有效杀灭细菌、病毒等微生物,保障食品安全和人员健康。曝光设备紫外线灯13KW电源
NSR-2205iL1 将提供高生产率,通过使用高精度晶圆测量、晶圆平台调平和宽 DOF来优化半导体制造工艺的良率。牛尾电机紫外线灯
UV/可視光硬化型接着剤を硬化させるように設定されたUVファイバー装置です。メンテナンス時のランプ交換が非常に簡単です。自動機組み込み用、または手作業用に対応可能です。0~100%まで自由自在な光量調整ができます。全世界フリー電源です。瞬時停電対応プログラム搭載です。UV(紫外線照射)ファイバー装置用ランプです。用途UV/VIS(紫外線/可視光硬化)接着剤の硬化に。UVファイバー HM88、HM66用メンテンスランプ。 仕様放射波長(250nm帯増強タイプ)240~400nm , 質量(g):28, 入力電圧(V):AC100~240、単相47Hz~63Hz 寿命約3000時間(365mm)表面硬化重視の場合はこの限りでありません。 位置ライトガイド接続口/操作パネル面、ランプ交換口/背面 主なワークパーツ牛尾电机紫外线灯